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硅片清洗機工作原理

發布時間:2024-11-16 作者:魯超超聲 點擊:786次

你見過硅片清洗機嗎?它是怎么工作的呢?

當一片晶圓被切割成很多小的硅片之后,會被放入這個轉盤上。然后通過真空吸盤固定住,接著就進入清洗腔體。

這里會噴射出超純水和三氯氫硅氣體混合物,對硅片進行全方位無死角的沖洗,以此來去除表面的雜質、金屬離子以及有機污染物等,以達到一個清潔的效果,為下一步的刻蝕做準備。

整個過程非常快,只需要幾秒鐘就能完成清洗,效率非常高。而且它還能通過視覺系統檢測硅片是否清洗干凈,如果發現不合格就會重新洗一遍

清洗完后,再通過傳送帶輸送到下一工序中。不得不說,這玩意真是科技與狠活啊!


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